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第八九零章 投资Cymer(1 / 2)


一九六一年,GCA是第一家制造商业步进和重复掩模减少设备的公司;七五年,推出了首个用于抗蚀剂加工的晶圆轨道;七八年,推出DSW 4800、第一个成功的晶圆光刻机;八五年研发出第一台为贝尔实验室开发的DUV步进投影式光刻机。

技术实力雄厚。

八八年,General Signal以七千六百万美元收购了陷入财务困境的GCA,随后,Sesers由混合氮和氟来制造025微米波长深紫外线雷射光,创业初期主要是借用加州大学的研究设备,他们还拖欠了学校大约二十五万美元的债务,为了使Cymer公司能够继续运作,Akins及Sandstrom甚至将他们的房屋抵押,筹措初期的研发资金。

一九八八年,c接到风险投资家Richard Abraham提供二百万美元的投资,曾在仙童半导体、摩托罗拉,以及德州仪器等公司担任研发工作的Abraham,知道深紫外线雷射光源对于未来IC产业制程创新的重要性,提出的投资条件是,Cymer公司必须完全专注在excimer雷射光源在半导体制程设备上的应用开发。

到如今,Abraham、Akins及Sandstrom先后投资了一千多万美元,由于前几年半导体行业不景气,波及光刻机产业,GCA、SVG和Ultratec也自身不保,excimer雷射光源由于成本较高,价格昂贵,还没有打开美国光刻机的光源市场,还需要持续投资,改进工艺,降低成本。


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