蔡慧媚28岁守寡,也成为姜家最年轻的寡妇,见证了姜家王朝最后一丝辉煌。
看着田旭东同学在足球场上纵横驰骋大杀四方,捧走了大力神杯成为了新一代球王,叶华功德圆满回到了台积电设置在氹仔岛的合作实验室搞研发。
前两年刚完成了浸入式光刻技术,现在叶华又要带领台积的供应商as光刻机研发部门进入euv(极深紫外)时代。
as为叶华旗下的高通、华技、台积电、东方电子等半导体生产商提供光刻机及相关服务,twinscan系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向as采购twinscan机型,比如叶华旗下的高通、华技、海力士(hynix)、台积电(ts)、中芯国际(sc)等,同时也在各地成立了合作实验室。
as的产品线分为pas系列、at系列、xt系列和nxt系列,其中pas系列光源为高压汞灯光源,现已停产;at系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是xt系列以及nxt系列,为arf和krf激光光源,xt系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而nxt系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。目前已经商用的最先进机型是tnscan nxt 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
as正在加紧研制基于极深紫外(euv)光源的新型光刻机,型号定为nxe系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10n下,并且可以显著提高集成电路质量。
众所周知,光刻是集成电路芯片制造的核心工艺。光刻机的成本占到了整个芯片生产的三分之一以上。而在光刻机的市场上,白婷在1977年就帮叶华注册的as公司,而如今占到了全球光刻机80%以上的市场。
1960年代集成电路技术诞生后,最早的光刻工艺还不算什么尖端科技。叶华早期收购的仙童和ib些第一代芯片公司都是自己设计光刻工具,只有gca,ks和kasper等少数公司开发一些独立的光刻设备。进入1970年代,光刻机成为不少米国公司竞争的焦点。先是kasper推出接触式光刻设备,但是很快,接触式被接近式机台所淘汰,因为掩模和光刻胶的接触会很容易带来污染。接下来perkin elr(pe)推出投影式光刻系统,迅速占领市场。
1978年,仙童的光刻部门剥离出去,并入了as公司,很快推出步进式光刻机,光刻机的分辨率达到了1微米。但是由于狌能问题,暂时没能撼动perkin elr投影式光刻机的市场领先度,直到进入80年代后,as公司又推出更成熟的步进式光刻机nsr-1010g,投影式光刻机的市场才开始萎缩。整个80年代上半期,尼康,gca也开始进入光刻机全球市场。
也是在这个时候,as总公司搬迁到了荷兰埃因霍温,推出twinscan系统和割命性的双段(dual-stage)技术,在对一块晶圆曝光的同时测量对准另外一块晶圆,从而大大提升了系统的生产效率和精确率。并投入全自动化生产和飞利浦展开竞争,飞利浦想象不到5年,叶华的as公司会发展这么迅猛,把他们挤得只有1%的市场份额。1983年4月1日,as公司蛇吞象般收购了电子巨人荷兰飞利浦公司。
在仙童公司还未改名成外星人公司签,光刻部门最初只有31名员工。收购了飞利浦的as公司第一年,就推出了浸入式光刻技术。当然,这套系统并不是凭空而来,仙童关于光刻系统的研发工作早在1960年代就开始了,事实上仙童最初的注资中有180万美元就是用尚未研发完成的浸入式光刻技术的。
去年,公司发展到1000多员工,搬入位于veldhoven新建的机器人厂房,这个地方距离飞利浦研发实验室只有几公里远,公司推出改进了对准系统的pas2500步进型,奠定了随后多项技术创新的基础。也在那一年,as同外星人和雅马哈的摄像头部门建立了稳定的合作关系。
今年as的国际化拓展越发成功。他们跟随飞利浦在宝岛的合资流片工厂台积电开拓了亚洲业务,在米国的员工数增加到840人,建立了十五个办公室。为高通、台积电等公司送来急需的上万台光刻机订单。
从此as完全自立,他们的客户数遍布全球,订单排到了三年后,成为主导国际光刻机市场的一哥。叶华旗下多个高科技公司崛起,把其他半导体公司逼迫得无路可退,原先主导光刻机市场的美国光刻机厂商gca,ultratech和pe光刻部先后退出或者缩小规模。日本的尼康和佳能也不能幸免,已经三个月没有接到订单,尼康承受不了巨额投资却不见回报决定退出,佳能也宣布庞大的成本削减计划,工人们开始放长假。为了挽救公司,尼康和佳能的管理层找到了台积电的董事会成员林秋霞,通过她说服其他董事决策为他们公司再提供一笔资金和技术。
叶华的团队没有辜负林秋霞的信任,上个月他们各出资6千万美元收购尼康30%的股份和佳能40%股份,并转让了pas5500的技术,这一具有业界领先的生产效率和精度的光刻机。pas5500也为尼康佳能带来几家关键的客户,包括台积电,高通和中芯国际,这些客户是他们后来实现赢利的关键。现在as他们扩建了位于veldhoven的derun厂房,这里将为成为公司新总部所在。叶华通过台积电的实验室为新总部输送最新的光刻技术。
twinscan at:1150i量产后没多久,首个193n浸入式系统twinscan xt:1900i发布。这些创新的系统让客户可以生产更小尺寸的芯片,其特点是可以让光经过透镜组和晶圆之间的一层水实现投影。浸入式光刻技术全部从叶华的特斯拉数据库一次输出。在那之前,全球的半导体工业都为超越193n刻绞尽脑汁,但是先后失败。只有叶华提出的这个工程师相对简单的办法最后成功。从那以后,浸入式光刻一直做到如今的7n正是凭借浸入式光刻的突破,让as一跃成为全球光刻机市场的大霸王。
接下来光刻机的竞争进入euv(极深紫外)时代。目前全球最先进的euv光刻工艺使用的是13n源,能够满足7n宽制程工艺的要求。全球能够达到这种水平的光刻机制造商暂时只有一家——叶华独家持有的as。
为了市场垄断,叶华手下肯定不止有as一个公司,后面还跟着n多个马甲,例如马甲一——硅谷svg集团拥有关键的157n学技术,也因此得以长存米国市场;例如马甲二——领先的半导体设计和制造优化解决方案提供商brion,开启整体(holistic)光刻战略;例如首次发售支持实时测试纠正的yieldstar(250d)系统,在整体光刻上更进一步。
6月初as首次发售概念性的euv光刻系统nxw:3100,客户是华技的的2012实验室,从而开启光刻系统的新时代。euv光刻采用更短波长的光来制造更小特征尺寸,更快也更强大的芯片。
同时叶青文在加州圣地亚哥成立光刻光源厂cyr,和as合作,加快euv系统研发,7月份发售第二代euv系统nxe:3300,第一批面向制造的euv系统开始批量发售给客户。在这个时候,进一步扩展整体光刻产品线,并购宝岛的另外一个小马甲h公司,一家领先的电子束计量公司,并在一个后成功推出整合两家公司技术的epf系统。在荷兰电子束光刻公司pper破产后,as收购了其ip资产,还延揽了其研发人员。as继续改进浸入式光刻技术,先后推出nxt1970ci和nxt1980di,这两款设备被叶华的半导体工业广泛部署。
纵观叶华输出的高科技和as的发展故事,很多关门弟子可以看到,坚持分散投资,对新技术趋势的准确判断与把握,持续不断的研发投入,充足的资本保障是as能在短短几年时间里从小到大,一跃成为全球光刻机行业龙头的关键要素。和as同时起步,甚至更早的ib光刻机却没有发展起来。和叶华的事业群对比,所有做产业研究都开始惊恐了。
叶华无视欧美苏的强势,不趁着市场急缺的时候多开枝散叶广撒网,那不就是耍性格的逗逼?只要能盈利的地方,叶华都见缝插针。